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商品名稱
抗電漿表面處理
產品規格:
產品尺寸:依客製作
產品簡介:ESD抗靜電/抗靜電設備/Y-Coat處理/抗電漿
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奈米矽表面處理產品DCSG系列
奈米矽塗層
,主要成份是以奈米
SiO2,Y2O3
為主成份的溶凝膠,為
完全無機
組成的奈米結合劑,塗料成品具有
抗電漿
擊穿、
高硬度、隔熱性
、耐酸性、耐候性、耐熱溫度約
800℃
以上,適用於各種
電漿蝕刻
製程,產品均符合
ROHS
測試規範。
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